二次电子分辨率：1.0 nm （15 kv，WD = 4 mm )

1.4 nm (1 kv，WD = 1.5 mm ，减速模式）

2.0 nm （1kv，WD = 1.5 mm，普通模式）

电子枪：冷场发射电子源

加速电压：0.5 kv - 30 kv

放大倍率：20倍 – 800,000 倍

冷场发射扫描电镜可对试样进行表面形貌观察分析，已广泛应用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、电子、半导体、食品、生命科学等科研和工程领域。具体情况如：金属、非金属及复合材料的观察分析；纳米材料的形貌观察和粒度测量统计；颗粒样品粒径、周长测量；对固体材料的表面涂层、镀层进行结合情况观察和厚度测量。所测样品应为干燥的固体，且具有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形；无磁性、放射性和腐蚀性。